CleWin 支持用于光掩模设计的三种主要文件格式，即 CIF、GDS-II 和 OASIS：

• CIF – 加州理工学院中间格式
  一种人类可读的文本文件格式，为 20 世纪 70 年代和 80 年代的 VLSI 芯片设计而开发，参见例如 Carver A. Mead 和 Lynn A. Conway，VLSI 系统简介，Addison-Wesley，1980 年。
  CIF 是 CleWin 的默认文件格式，因为它可以轻松扩展以支持其他功能。
• GDS-II – 图形数据系统
  Calma 公司于 20 世纪 70 年代开发的一种二进制数据库格式。 自 20 世纪 80 年代中期以来，它一直是事实上的行业标准。
• OASIS™ – 开放艺术品系统交换标准
  OASIS 格式是半导体设备与材料国际组织 (SEMI) 的商标。 它于 2004 年推出，作为 GDS-II 的更高效替代品。

CIF、GDS-II 和 OASIS 都是分层文件格式。 也就是说，对象可以组合成“符号”（或“单元”）并多次放置在设计中（“符号实例”）。 这对于重复结构非常有用：更改符号定义将同时更改所有实例。 此外，它可以显着减小文件大小，因为符号定义的数据仅存储一次。

光掩模设计通常对应于文件中的“层”，尽管层也可以用于其他目的（例如用于指导或显示芯片轮廓）。

每种文件格式对设计都有特定的限制。 例如，CIF格式仅允许矩形、多边形、线和圆形作为基本形状，而GDS-II格式仅允许多边形和线。